X射線熒光（XRF）能用于測定周期表中多達83個元素所組成的各種形式和性質的導體或非導體固體材料，其中典型的樣品有玻璃、塑料、金屬、礦石、耐火材料、水泥和地質物料等。凡是能和X射線發生激烈作用的樣品都不能分析，而要分析的樣品必須經受在真空（4~5Pa）環境下測定，與其他分析技術相比，XRF具有分析速度快，穩定性和精密度好以及動態范圍寬等優點。

  X-熒光光譜儀工作原理

   X-熒光光譜儀有兩種類型：一種是波長色散型（WDX），一種是能量色散型（EDX），我公司（INNOV-X中國服務中心）使用的是波長色散型（XRF分析儀），在WDX中，熒光光譜通過色散元件（如晶體）被分離成不連續的波段，然后用氣體正比計數器或閃爍計數器檢測，其主要組成是X光管、初級準直器、晶體、次級準直器和探測器，及輔助裝置如初級濾光片等。

  SDD探測器

   X熒光儀共有2個探測器,即流氣正比計數器和閃爍計數器,裝在探測器架上,可程控切換.

   掃描式X射線熒光儀安裝的是具有很大測定靈活性的測角儀，只要配備了必要的分析晶體就能按序分析周期表上多達83個元素。
   此外，測角儀還可以使用半定量分析元件如QuantAS，這些軟件能快速分析未知樣品，而不需要使用標準參考物質做儀器校準。而我公司ARL9800XP熒光光譜儀裝有一個測角儀（掃描道）和一個衍射道，如果需要還可以再裝14個固定道，它配有12位樣品交換器，可以設定自動進樣。

X射線熒光光譜儀的基本原理

  被測試樣進入光譜儀后，受到來自X光管發出的X射線光束激發，產生X熒光，X射線熒光是指用X射線管或其它合適的輻射源照射物質時，使組成物質的原子產生具有特征性的一種次級X射線，X光管發射的光譜是有靶材元素（Rh銠）的特征譜和連續譜（或稱白色輻射）所組成，來自樣品的輻射是由X光管光譜和樣品中各元素的特征譜所組成的混合光，這種混合光被引入測角儀所組成的色散系統分光，分光后所得的譜線和被測樣品中存在的元素有關。