XRF（X射線熒光光譜儀）與ICP - OES（電感耦合等離子體發生光譜儀）是常見的成分分析設備，以下為你從多方面對比分析這兩種儀器：

基本原理

- XRF：初級X射線與樣品表面原子核外電子相互作用，發生能級躍遷后發射出特征X射線。由于每個元素的特征X射線能量和波長固定且固定，通過探測器探查樣品中元素特定的能量或者特定角度的熒光輻射，即可獲得樣品中的組成元素。

- ICP - OES：物質在高頻電磁場所形成的高溫等離子體中有良好的特征譜線發射，用半導體檢測器檢測這些譜線能量，然后參照同時測定的標準溶液，即可計算出試液中待測元素的含量。

儀器類型及特點

- XRF：分為能量色散型X射線熒光光譜儀（EDXRF或EDX）和波長色散型X射線熒光光譜儀（WDXRF）。其中，WDXRF用晶體分光后由探測器接收經過衍射的特征X射線信號，元素檢測范圍廣，從Be - U可進行全元素分析，比EDXRF分辨率高，檢出限好，精度高，穩定性好，但價格較高；EDXRF則采用半導體探測器與多道分析器分辨特征X射線信號，檢測范圍較窄，從Na - U，其體積小，價格相對較低，檢測速度較快。

- ICP - OES：其前身為ICP - AES（電感耦合等離子體原子發射譜儀），因發射光譜技術用到了越來越多的離子線，所以現在改叫OES。一般情況下，主要測試液體樣品，測樣時需要將樣品溶解在特定的溶劑中（一般是水溶液），大部份元素的檢出限為1～10ppb，一些元素也可得到亞ppb級的檢出限。

優缺點對比

|類型|優點|缺點|

| ---- | ---- | ---- |

|XRF|1. 分析速度快，一般2 - 5min內完成樣品中元素的檢測；<br>2. 非破壞性，在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象；<br>3. 同一試樣可反復多次測量，結果重現性好；<br>4. 分析精密度高；<br>5. 固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析，檢測范圍從ppm - 100%。|1. 標樣與待測需匹配，獲取較難；<br>2. 對輕元素的靈敏度較低；<br>3. 基體效應、礦物相效應、粒度效應等都會對檢測產生影響；<br>4. 是表面成分分析，故樣品必須滿足表面平整，成分均勻才能獲得好的結果。|

|ICP - OES|1. 可以同時快速地進行多元素分析；<br>2. 靈敏度較高，每毫升亞微克級；<br>3. 基體效應低，較易建立分析方法；<br>4. 標準曲線具有較寬的線性動態范圍；<br>5. 可無任何譜線缺失的全譜直讀；<br>6. 可同時分析常量（低濃度）和痕量組分；<br>7. 具有良好的精密度和重復性。|1. 樣品為液態，是破壞性檢測；<br>2. 樣品需經由強酸高溫長時間或者高壓等消化步驟，變成液體樣品；<br>3. 需處理在前處理中產生的廢水廢氣，以及檢測過程中產生的廢氣；<br>4. 由于前處理使用強酸高溫處理，因此，對應安全防護措施要求高。|

應用側重

- XRF：優勢在于常量元素檢測，是檢測物質中各種氧化物和元素的含量以及成分分析。

- ICP - OES：在痕量元素檢測方面更優，一般應用于溶液中化合物離子的含量分析。

樣品前處理

- XRF：樣品前處理簡單。

- ICP - OES：需要通過濕法將樣品制備成液體。

標樣情況

- XRF：標樣匹配要求嚴格，但采用標樣制作標準曲線成功后可長期使用。

- ICP - OES：標樣獲取較簡單，但在測試前需要對所測元素建立標準曲線。

以上內容僅供參考